- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：SiC高溫退火爐
- 產(chǎn)品型號(hào)：YY-退火爐
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
專(zhuān)門(mén)用于碳化硅（SiC）氮化鎵（GaN）器件的離子注入后退火工藝，采用特殊的無(wú)金屬加熱設(shè)計(jì)使加工溫度提高到2000℃。 適用工藝：SiC和GaN晶圓的退火
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)/Product Characteristics：
? 采用立式結(jié)構(gòu)、工藝控制好、溫度分布均勻、氣流穩(wěn)定
The vertical structure is adopted, the process is well controlled, the temperature distribution is uniform, and the airflow is stable
? Robot 自動(dòng)傳送
Robot Auto Transfer
? 多點(diǎn)控溫，溫度均勻
Multi-point temperature control, uniform temperature
? 具有多種報(bào)警功能及設(shè)備保護(hù)功能
Has various alarm functions and facility protection functions
技術(shù)指標(biāo)/Technical Indicators：
? 晶片尺寸：6-8英寸
Wafer size: 6-8 inches
? 制程溫度范圍: 800-2000 °C
Process temperature range: 800-2000°C
? 批次片數(shù): 50-75片
Batch capacity: 50-75 pcs