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- 產(chǎn)品名稱：手動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)
- 產(chǎn)品型號：YYHTp20型熱板
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
YYHTp型熱板是一款手動桌面型烘焙系統(tǒng)，采用手動PID控制器和定時器開關可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特色：
÷ 加熱板模塊（極限可達 300°C）
÷ 氣動驅動支撐pin升降
÷ 支撐pin材料：不銹鋼，頂部采用 PEEK （極限250°C）
÷ 熱板通過真空固定晶圓
÷ 集成排煙裝置
÷ 熱板蓋手動控制
÷ 集成1x PID 控制器，用于在高測量時進行溫度控制
÷ 集成1x 定時器開關
技術數(shù)據(jù)：
÷ 襯底尺寸: 極限可達 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 溫度區(qū)間: 極限可達 300°C*, 以 1°C 步進可調
÷ 溫度精度: 100°C 時 < ±1°C
÷ 提升銷（一套）: ?50 mm (?2”) 至大可達 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁制成
÷ 加熱板蓋: 由微拋光不銹鋼制成
÷ 控制器單元: 1x PID控制器, 1x 時間開關
÷ Pin頂部 采用PEEK 材料，極限溫度 250°C
可選項：
÷ 支撐pin材料
÷ 邊緣支撐pin
÷ N2吹掃
÷ HMDS 熱板系統(tǒng)（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）
÷ 烘焙距離可調模組
÷ 真空泵